硅碳棒有良好的化学稳定性，具有使用温度高、抗氧化、耐腐蚀、寿命长、变形微、安装维修方便等特点。但在高温条件下 碱，碱金属，碱性氧化物，硅酸盐，硼化物，水，氢，氮，硫，卤素等气体，熔融金属及金属氧化物与硅碳棒接触会发生腐蚀或氧化现象。
硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用：
①Sic+2O2→Sio2+CO2
②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2
致使元件中SiO2含量逐渐增多，电阻随之缓慢增加，为之老化。如水蒸气过多，会促进SiC氧化，由②式反应产生的H2与空气中的O2结合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。
SiC在氧中，在1000度以下不被氧化，在1350度时显著地氧化。在1350-1500度之间形成Si02,而Si02在1700度左右熔化。所生成的SI02在熔化时覆盖在SiC的上面,阻碍SiC再继续氧化。
为合理使用硅碳棒应避免硅碳棒与下列有害气体接触：
氢气(H2)能使元件机械强度降低。
氮气(N2)在1200℃以下能防止SiC氧化，1350℃以上与SiC发生反应，使SiC分解。
氯气(Cl2)在100℃以上便于sic发生反应，1200℃以上能使Sic完全分解。
