硅钼棒的抗氧化/保护层，高温氧化气氛下，元件的表面生成一层致密的石英sio2保护层以防止mosi2继续氧化。当元件温度大于1700℃，熔点为1710℃的石英保护层熔掉，由于表面张力的作用，石英熔聚成滴，而失去保护作用，元件在氧化气氛下，再继续使用时，石英保护层重新生成.电阻随温度的升高而变大，温度不变时电阻值稳定，正常情况下电阻不随使用时间的长短而发生变化，新旧硅钼棒可以混合使用。硅钼棒有较小的膨胀系数。在开炉、停炉或炉温波动时电热元件将发生热胀冷缩，过大的膨胀系数会造成反复过度伸长和收缩，产生较大的应力，使元件表面的氧化膜破坏，氧化加速，从而使电热元件过早失效，在安装电热元件时应注意留有充分的膨胀余地。较好的塑性，以便于加工成形和维修。良好的抗蚀性，电热元件在炉内使用的时候，会受到不同程度的腐蚀，其对各种气体介质的抗蚀能力，在腐蚀性气氛中工作时，应降低其使用温度。
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